问董秘|中电科集团研制的高能离子注入机宣告成功,但根据百度搜索,...,投资者提问:你好
投资者提问:
你好 , 中电科集团研制的高能离子注入机宣告成功 , 但根据百度搜索 , 高能离子注入机多用在IGBT,CIS等 , 低能大束流用在16nm以下晶圆较多 , 还有据报道 , 凯世通研制的离子注入机在低能和大束流两项核心指标优于国际主流机型 。 大束流以40比22 , 超近两倍 。 请问凯世通正在验证的是低能大束流离子注入机吗?
董秘回答(万业企业SH600641):
尊敬的投资者您好 , 凯世通开发的是低能大束流离子注入机 。 感谢您对万业企业的关注 。
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