国家存储器基地建设加速,国产半导体设备材料全面开花
【国家存储器基地建设加速,国产半导体设备材料全面开花】“国之重器须立足于自身 , 形成规模和集聚效应 , 进一步打造世界级‘芯’产业集群 。 ”全国两会上 , 刘江东等多位全国人大代表联名建议 , 支持武汉加速建设国家存储器基地 。
国家存储器基地的主体单位长江存储规划产能30万片/月 , 总投资240亿美元 , 建成后将一举跻身全球前三 。 目前正处于一期10万片产能建设中 , 此前已达产3万片 , 计划在2020年完成一期10万片的目标 。
长江存储已经量产64层3DNAND存储颗粒 , 市场上已经有江波龙、国科微还有紫光存储推出使用长江存储颗粒的SSD产品 。 并且今年4月长存还宣布已研发出具备全球最高存储密度的128层3DNAND , 并计划明年初量产 。

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长江存储项目的顺利实施 , 除了实现国产3DNAND存储芯片的突破 , 对于带动国产半导体设备和材料等全半导体产业链发展具备更重要的意义 。
按招标网公布的长江存储招标信息 , 长江存储今年已经发起第37-39次国际招标 , 招标规模不断扩大 。
按照公开信息可以看出 , 国产半导体设备和材料已全面导入长江存储芯片工厂 。
中微半导体:中微半导体的CCP等离子体刻蚀机多次中标 , 并且中标份额逐年提升 , 2020年中标份额已超过50% 。
北方华创:多次中标PVD设备、ICP硅刻蚀机、热处理设备 , 分别实现对应用材料、泛林半导体、东电的相关设备进行国产化替代 。
沈阳拓荆:中标长江存储PECVD设备 。
上海精测:集成式膜厚量测仪、高温老化测试机已导入长江存储 。
盛美半导体:中标长江存储清洗设备 。
屹唐半导体:中标长江存储刻蚀设备、去胶设备、热处理设备 。
中科飞测:中标光学表面三维形貌量测设备、晶圆表面凹陷检测系统 。
芯源微:前道I-line涂胶显影机已在长江存储上线进行工艺验证 。
华海清科:CMP抛光设备
至纯科技:高纯工艺在国内12寸晶圆厂市占率达到六分之一 , 是长江存储供应商 。
上海新昇:3D-NAND存储正片通过了长江存储的认证 。
南大光电:193nm光刻胶已进入测试阶段 。
江丰电子:回应与长江存储关系时表示有保密协议不方便透漏 , 相当于默认已经打入供应链 。 江丰电子预计为长江存储提供靶材 。
安集科技:为长江存储供应化学机械抛光液、光刻胶去除剂等产品 。
华特气体:2019年上半年长江存储是公司第2大客户 。
晶瑞股份:高纯度双氧水、高纯度氨水等产品技术标准都达到了10ppt水准 , 同时在实施电子级硫酸改扩建项目 , 获得华虹宏力、中芯国际、长江存储等国内知名半导体客户的采购或认证 。
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