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霍俊标：妙手回春的半导体工艺“设备神医”

人物简介：霍俊标 ， 1980年生 ， 河南省汝州市人 ， 深圳华远微电科技有限公司制造部副经理 。 自动化控制工程师 ， 擅长半导体工艺设备的维修与改进 ， 能够快速解决Panasonic干刻设备、Canon光刻设备、匀胶显影设备等半导体等设备故障 。 获得国家专利3项 ， 在2项深圳市科技项目中负责设备及工艺支持 。 攻克修复了被收购外企销毁的外国设备 ， 机器得以正常运行 ， 为企业发展作出了重要贡献 。
霍俊标：妙手回春的半导体工艺“设备神医”
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华远微电是华南地区集研发、制造、销售声表面波射频芯片和无线无源温度传感器为一体的国家高新技术企业 ， 这样的企业 ， 在华南地区也没有几家 。 数量少 ， 是因为技术门槛高 。 国内外射频声表面波滤波器的生产厂家主要集中在几家国际跨国公司 ， 他们占据了95%的市场份额 。
在夹缝中 ， 华远微电制造部副经理霍俊标带领团队杀出 ， 研发的声表面波滤波器（英文简称SAW滤波器） ， 可替代一定量的进口产品 ， 填补了国内空白 ， 实现了“关键零部件国产化” ， 使国内终端设备厂商如华为、中兴、海能达在声表射频器件上有了更多选择 ， 推动了通信行业的健康发展 。
修好闲置7年的设备 ， 给公司省了三百多万
半导体芯片工艺的核心设备 ， 目前只能依赖进口 。 就连维护维修 ， 以前都离不开供货方 ， 处处受制于人 。
“大多数人只懂设备 ， 或只懂测试 ， 知识面不够广 ， 有些偏科 ， 所以不知道如何维修改进 。 ”在霍俊标看来 ， 半导体生产的工艺和设备紧密相连 ， 霍俊标既懂设备 ， 也懂工艺 ， 又懂测试 ， 自然是维修设备的一把“好手” 。
霍俊标擅长半导体工艺设备的维修与改进 ， 如磁控溅射设备维修及改进（改进能力处于国内领先水平）、干/湿法刻蚀设备的维修及改进（湿法获得实用新型专利）、光刻设备维修（能够达到售后服务级别）等 。 此项技能每年大约为公司节约了200万元费用 。
霍俊标：妙手回春的半导体工艺“设备神医”
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在同事们眼里 ， 霍俊标就是一个妙手回春的大夫 。 他们不敢相信 ， 霍俊标能把一台闲置多年 ， 连出售机器的日本工程技术人员都认为没法修理的旧设备修好 ， 并且一直使用至今 。
当时是2014年 ， 霍俊标得知厂里有一台闲置多年的磁控溅射设备 ， 长久不能使用 。 出现故障时 ， 厂里曾联系日方工程技术人员和在上海的经销商 ， 找人进行维修 。 对方在听到介绍后 ， 表示实在无法修理 。
“旧设备如果就此放弃 ， 蛮可惜的 。 ”霍俊标决定对这台设备进行彻底的检查和维修 ， 想办法将其救活 。 他把这一想法告诉了领导 ， 表示如果修理不好 ， 自己愿意掏腰包 ， 支付购买零部件替换的费用 。
在没有任何图纸资料 ， 国内也没有相关改造案例的情况下 ， 霍俊标经过一个月左右的摸索和修理 ， 终于把这台已沉睡了七年的设备彻底修好 。 这次修理的成功 ， 使厂里省了三百多万 。
在维修设备的同时 ， 霍俊标还以极大的热情投身到发明创造中 。 他先后获得了“用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法”的发明专利 ， 以及“一种旋转喷淋湿法蚀刻装置”“一种防雷击的视频监控系统”等多项实用新型专利 。
在声表测试系统的设计与编程方面 ， 霍俊标熟悉声表谐振器及滤波器的测试方法 ， 熟练掌握了网络分析仪的使用及编程方法 ， 能够使设计测试系统与测试设备相匹配 。
多年来 ， 霍俊标还和他的团队 ， 完成了公司里多项设备制作与改造升级工作 。 如 ， 显影设备控制系统的改造、湿法刻蚀设备控制系统的设计与制作、RF磁控溅射设备控制系统的设计与制作、声表滤波器测试设备的设计及制作等 。
2016年和2017年 ， 霍俊标相继参与了2项深圳市科技项目 ， 分别为重20160130北斗卫星导航系统声表面波滤波器射频芯片研发 ， 负责设备及工艺支持 。 重20170213基于4G/5G的温度补偿声表面波滤波器芯片关键技术研发 ， 负责设备及工艺支持 。
既充当“半导体工艺设备维修与改进”的维修工 ， 又是“声表测试系统设计与编程”的程序员 ， 霍俊标研发的研发的声表面波滤波器 ， 实现了国产替代 ， 打破国外技术垄断 ， 推动了通信行业的健康发展 。
“设备到我手里 ， 就得听我的话”
2012年 ， 霍俊标来到华远微电 。 同事们惊讶 ， 才几天时间 ， 霍俊标就对公司的一切很熟悉 。 原来 ， 早在2004年时 ， 霍俊标入职了位于宝安沙井的日资企业三洋电子部品厂 ， 随后2010年离职 。
而三洋电子部品厂在中国的生产基地 ， 就是华远微电的前身 。 2009年三洋电子撤出中国时 ， 没留下任何技术员和说明书 ， 将所有技术人员、说明书全部带走或销毁 。
“我在三洋很多年 ， 对设备及测试都有一定的了解 。 ”于是 ， 霍俊标带领团队探索研究 ， 把所有控制系统改装成自己可控制的 ， 并开发了一套测试系统 ， 随时监测各项性能 ， 保证安全生产 。
霍俊标最怕的 ， 不是设备坏了 ， 设备坏了自己反而会兴奋：“我会想着法子搞好它 ， 设备到我手里 ， 它就得听我的话 。 如果天天想着躲问题 ， 不可能有进步 ， 有问题要迎难而上 。 ”
维修设备时 ， 不管问题大小 ， 霍俊标都喜欢找出原因 。 比如一条线路烧坏了 ， 要检查出为何烧坏 。 如果是短路造成的 ， 又为何短路 ， 设备如何改进才可以避免此类问题 。 正是对细枝末节的追求 ， 让霍俊标对设备维修越钻越精 。
多年来 ， 霍俊标对技术并不保密 ， 甚至毫无保留地将技术传授给其他同事 ， 专门带了两个徒弟 ， “有人问我一个问题 ， 我会回答两个 ， 很希望大家能问我问题 。 ”
当前 ， 华远微电正进行新一代设备技术升级改造 ， 计划进一步扩大产能任务 ， 完成“5G”移动通信配套射频声表器件研发攻关 。 为了学习国外本领域最新的科学技术知识 ， 霍俊标一直没有放弃过英语知识的学习 ， 时刻见缝插针地学习英语 ， 以便能直接阅读更多最新的专业技术书籍 ， 为我国的半导体事业发展贡献智慧 。
致敬词：他是维修工 ， 负责“半导体工艺设备维修与改进” 。 他是程序员 ， 进行“声表测试系统设计与编程” 。 他也是研发者 ， 声表面波器件打破了国外技术垄断 ， 实现“关键零部件国产化” 。
【采访人员】苏国锐
【作者】苏国锐
【霍俊标：妙手回春的半导体工艺“设备神医”】【来源】南方报业传媒集团南方+客户端


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