FinFET和FD SOI的比较?
SOI和FinFET的优劣对比早就有人写过了，我这随便贴一篇：http://www.soiconsortium.org/pdf/Comparison%20study%20of%20FinFETs%20-%20SOI%20versus%20Bulk.pdf不看文字只看表格和数据还算客观。如果要概括总结一下FinFET和SOI的最大差别，个人觉得FinFET本质上更像是Bulk的延伸，通过Fin或是叫做Tri-Gate的形式让同等尺寸下相比Bulk有了更大的Effective Gate Area，这样加强了对沟道的控制，而FDSOI则偏重结构上的变化。用汽车发动机作个可能不恰当的比喻的话，FinFET像是通过某种方法拓展了排量的自然吸气发动机而SOI有点涡轮增压的意思。不同的实现方法试图达到同一件事：使栅极对沟道拥有更好的控制。至于工艺上，SOI基片更贵，可是FinFET要把栅“堆”起来，似乎综合算下来SOI更划算，至于Intel为什么用FinFET也许只有他们的高层才能说清楚，可是以Intel为首的FinFET阵营和FD SOI阵营曾经也打过很多口水仗，不知是不是也有商业的因素。个人更看好SOI，就数字电路而言FD SOI相对于FinFET对Random Dopant Fluctuation更低的敏感性而带来的良率提升这一条就足够了。
■网友
Global Foundry宣布放弃7nmFinFET的研发，转而重点研发他们相对成熟的28nm和22nm的FD-SOI工艺的开发。
在这里科普一下FinFET和FD-SOI的对比。
首先明确一点，FinFET和FD-SOI的存在，其实都是为了解决一个问题：晶体管尺寸做小之后，沟道的关断变得困难。
FinFET发明人胡正明教授曾经把晶体管的沟道比作一条水管，栅极电压就像一个石头，压住水管，截断水流。然而当晶体管尺寸不断变小，就像水管的长度不断变短，常规的方法很难将水管的水流完全阻断，因此我们需要新的晶体管设计，提高对沟道的控制能力。而者就是FinFET和FD-SOI存在的意义。
比较一下两种设计的优缺点：
先说FinFET：目前市面上常用的CPU全部采用FinFET的工艺制备，FinFET是半导体工艺里驱动电流参数最佳的选择，代表了“速度”。所有对速度有要求的芯片都会采用FinFET工艺。另外一个FinFET的优点是，它是“赢家”的选择，前三大的半导体制造商（Intel、三星、台积电）均采用FinFET工艺，带动了整个FinFET的生态蓬勃发展。FinFET所谓的“缺点”也很明显，就是工艺成本太高，性价比不是很好。对于高性能运算，FinFET无疑是最佳选择。
再说FD-SOI：也称为“绝缘体上硅”，它还是一个平面的半导体工艺，Back Gate带来的对沟道强控制，全耗尽减小了寄生电容效应，工作电压低，可靠性高。因此对IoT和模拟/射频芯片的支持有先天的优势。另一个明显优势是Mask数更少，成本相对更低。综上所述，FD-SOI技术在物联网、车载电子、通信等对可靠性和低功耗要求更高的领域，有很大的发展潜力。
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■网友
FD-SOI比finfet更适合做模拟（FD-SOI可以调衬偏，finfet优势是高速数字电路），因此做大规模混合电路FD-SOI比finfet设计周期要短一些。据说（注意是据说）是因为法国人不肯卖FD-SOI铜层厚度处理的专利，英特尔才不用的。不过FD-SOI贵，是硬伤。
■网友
遇到这问题，搜到这个话题，上没有特别好的答案，Google一下可以找到好几个很好的科普文。百度搜出来的完全不知所云。。
A Review Paper on CMOS, SOI and FinFET Technology个人粗浅总结：
FinFET是结构性变化（通俗来说的2D-\u0026gt;3D， Planar结构到Fin结构）。思路是在立体空间上构建Gate control，三维空间上对沟道做电压控制可以更均匀，控制面积更大，载流子密度更均匀。相比二维沟道控制，空间上自然更小。这是降低feature size (俗称最小线宽）的主要原因。FD-SOI还是2D planar结构，但是使用了不同的Wafer（Wafer不再是以前的纯硅Wafer，而是类似三明治的结构，在Wafer上做绝缘层（二氧化硅比硅能提供天然的绝缘屏障）。FD-SOI和FINFET相比，并不是在沟道控制上想办法，而是在降低漏电流处着手。绝缘层的存在，也帮助降低了feature size。但是再进一步就比不上Finfet了。FD-SOI也因此需要不同的Wafer，wafer价格会上去，但是之后的制造流程基本不变。两者性能上的区别各有千秋，相比来说FD-SOI主要打的还是性价比。但因为整体上是稍晚的后来者，这个是劣势，虽然价格上有优势但是只是暂时的优势，一旦FINFET生态形成，价格就会急速下降。所谓赢者通吃，参考摩尔定律。长远看，个人不看好FD-SOI。
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