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【装机量】高世代LTPS突破在即，Micro-LED装机量产( 二 )


【装机量】高世代LTPS突破在即，Micro-LED装机量产
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除了降低成本以外，Coherent 相干公司在提升生产效率方面也做出了重大的改进。
在 ELA 部分，公司开发了 LB1500 技术，使得 G6 玻璃可以一次扫描完成制程，相比过去扫描两次提升了一倍的效率。
在 LLO 部分，Coherent 相干公司开发了一种新的 LLO 系统 UVblade1000。该系统具有 950mm 长的线光束, 对于目前主流的柔性 OLED G6H 基板, 可以通过一次扫描完成剥离。它除了可以提供更高的生产效率外，还可以提高大板利用率。由于设计者不再需要考虑多次扫描重合区的问题，因此玻璃母板上有机会可以设计更多的面板。Coherent 在其位于哥廷根的德国工厂中可以提供这种新开发的 UVblade1000 的测试服务。
同时， UVblade1000 搭配的 VYPER 激光系统配有 2 根独立的激光管，在正常工作时可以同时输出得到高功率激光，在设备保养时可以逐个维护，这样设备在维护期间无需完全停机，获得最高稼动率。
二 . ELA 大型化核心技术突破， LTPS 高世代瓶颈打破在即
LTPS 技术相比传统的 a-Si 技术具有更高的离子迁移率，因此是高阶显示屏的首选背板驱动技术。目前市面上的高 PPI 手机屏以及 AMOLED 手机屏使用的均为该技术。
而 ELA 则是 LTPS 技术中的核心工艺。ELA 的核心技术为高功率的准分子激光器和光学整合系统，后者将激光源射出的初始光束整合成线光束。目前线光束的长度范围从 750mm 到最长 1500mm，可以实现对 G6玻璃的单次扫描，对应 G8甚至是 G10.5玻璃，也仅需两次扫描。
这也意味着 ELA 技术不再受限于 G6 尺寸的玻璃母板，使得 G8 甚至 G10 LTPS 产线成为可能。
三 . 积极布局 Micro-LED 等新技术领域
Micro-LED 被视为显示技术的市场扩展，部分观点认为是下一代显示技术。相比现有的 AMOLED 技术，高发光效率，高寿命等特性令其受到追捧。
Micro-LED 的产业链完全不同于现有的显示产业链，他主要由 LED 芯片供应商，封装供应商，驱动背板供应商，和巨量转移方案解决商构成。目前限制 Micro-LED 发展的主要难点在于巨量转移技术的不成熟。
当前巨量转移技术路线分为精准抓取，自组装，激光诱导转移和转印技术等。Coherent 相干公司是激光诱导转移技术的主要厂家。其原理为通过线激光对原基板快速扫描，使 LED 脱离原基板转移到中介载体，再通过类掩膜的方式精准将 LED 转移至目标基板。Coherent 相干公司认为激光技术将是巨量转移理想的解决方案，可满足微米级的转移精度要求以及显示屏生产所需的处理速度。
Coherent 相干公司与系统集成商合作开发并提供了 LED 制程中的剥离设备和巨量转移设备 。Dr. Kai Schmidt 透露，这些设备都已在客户端批量装机并投入实际生产。目前在相干的应用实验室，也可以对客户的样品进行 LIFT 和 LLO 的工艺测试。


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