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【装机量】高世代LTPS突破在即，Micro-LED装机量产

【 【装机量】高世代LTPS突破在即，Micro-LED装机量产】2019 年全球 AMOLED智能机面板出货约 4.6 亿片，同比增长 3.6%。而三星和华为的第二代折叠屏手机的发布，也再次掀起了人们对柔性折叠屏的关注。
对折叠屏手机来说，最大的难题还是屏幕，可弯曲的屏幕现在只有柔性 OLED 面板，目前全球能研发并量产的厂商仅有韩国三星和中国大陆京东方等少数几家。三星发布的 Galaxy Fold 及 Z Flip 折叠手机采用的是自家三星显示的内折柔性折叠屏方案，而华为 MateXs 选择的是国产京东方的外折柔性折叠屏。
【装机量】高世代LTPS突破在即，Micro-LED装机量产
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除了折叠手机以外，目前其它智能手机也已经逐步加大 AMOLED 屏幕的使用，根据 CINNO Research 统计数据，2019 年全球智能手机屏 AMOLED 渗透率已经达到 24.7%，预计到 2022 年渗透率有望超过 50%。
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在整个 AMOLED 制造工艺中，激光设备是非常重要的一环。涉及到激光的主要制程可以分为以下四类：
1. 激光退火 ELA工艺：在 OLED 驱动母板 LTPS 基板的制造过程中，ELA 激光退火工艺是得到高质量低温多晶硅的重要工序。
2. 激光剥离 LLO 工艺：在柔性屏幕方面，LLO 激光剥离技术是将柔性 PI 基底从玻璃背板剥离的关键工序。
3. 激光切割、钻孔工艺：在全面屏制造过程中，激光切割可以提供更多样化的屏幕外观设计，比如目前流行的刘海屏、水滴屏以及钻孔屏等等，并且制程更高效，产品品质更稳定。
4. 激光修复工艺：在面板全制程中，激光修复技术可以有效提高面板制造良率。
Coherent 相干公司引领激光技术逾 50 年，在显示行业 LTPS 激光退火领域更是耕耘 25 年，并伴随着行业逐步成长，占据领先地位。Coherent 相干始终坚持技术服务客户理念，不断提高现有 LTPS 技术，突破 LTPS 瓶颈，并积极开拓 Micro-LED 等新领域。
一 . 降低客户运行成本提升生产效率，Coherent 相干准分子激光器持续引领 ELA 和 LLO 设备技术发展
在 LTPS 的激光退火 ELA 和柔性 AMOLED 的激光剥离 LLO 工艺中，目前主流使用的均为准分子激光技术。相比固态激光器，准分子激光器可以提供更高功率、更稳定的激光束, 这对提高生产效率至关重要，因此成为 ELA 和 LLO 工艺的首选技术。并且在 LLO 工艺中，准分子激光器可适应的制程冗余度更大，这样有利于对应不同规格的柔性衬底材料，减少了对现有衬底材料 PI 的技术开发限制。有部分厂商也在尝试开发使用固态激光器用于激光剥离 LLO 工艺，已有小部分量产但仍有很多技术挑战需要克服。
对于固态激光器的竞争，Coherent 相干公司产品线管理总监 Dr. Kai Schmidt 表示，Coherent 相干公司已经有充分的技术储备可以应对。在过去的 25 年中，客户对退火工艺的质量以及生产率要求已大大提高。事实上，在激光退火工艺中使用固态激光器的研究已经持续了很多年，并且已经有一些项目进入工厂验证阶段，但最终都失败了。Coherent 相干公司同样进行过这方面的研究和尝试，但最终经过深入的研究探讨后，还是决定聚焦在准分子技术上。激光退火工艺极其复杂，涉及上百种参数，Coherent 相干公司经过多年研究坚信准分子激光器搭配 Line Beam 系统是目前也是将来最优的技术路径。
在激光剥离部分， 公司也在积极开发技术措施以降低客户运行成本。去年 Coherent 相干公司的准分子系统 UVblade 系列开发了 “按需脉冲”的先进功能，让激光器仅在实际加工进程中才出光，其它时间则处于空闲状态。这可大大降低运营成本，并延长激光器和光学器件的维护周期。经过一年的实际验证，该技术已经达到了公司的预期效果，其运行成本比 DPSS 方案低 20%至 50%。Dr. Kai Schmidt 透露，2019 年所有投资 LLO 的中国面板企业都选择了使用准分子激光技术 Excimer LLO。


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