报告：台积电EUV光刻机安装数量占行业一半，晶圆产量达60%
IT之家8月30日消息台积电最近举行了年度技术研讨会 ， 在会上透露了大量关于公司的信息 ， 尤其是涉及到未来芯片制造业务的信息 。 这些信息包括关于台积电先进工艺节点的新细节 ， 比如N5、N4、N3和N12e 。
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此外 ， 台积电也透露了其在尖端制造实力方面的情况 。 台积电现在占据了业界EUV（极紫外光）设备安装量的50% 。 此外 ， 台积电还拥有约60%的EUV晶圆累计产量 。
台积电的N7+制程是该公司第一个利用EUV光刻技术的节点 ， 而该公司的N5制程将更加倾向于使用EUV光刻技术 。 此外 ， 5nm以后的任何产品都将广泛采用EUV光刻技术 。
目前已知的大厂公开的EUV工艺包括台积电的7+和N5 ， 以及三星的7LPP(以及下面的任何工艺) ， 英特尔的EUV工艺要到明年才进入自己的7nm产品 。
ASML是唯一一家生产和销售EUV光刻设备的公司 ， 按照Cutress的估计 ， 台积电已经从ASML购买了30-35台设备 。 据此估算 ， ASML已售出约70台机器 ， 到2020年底可能会卖到90台 。
【报告：台积电EUV光刻机安装数量占行业一半，晶圆产量达60%】值得一提的是 ， 台积电的说法是“已安装的EUV”机器 ， 而从拿到零件到校准机器使用 ， 需要长达6个月的时间 。 因此 ， 目前这些晶圆厂中 ， 有部分EUV机器还在闲置等待安装 ， 或者可能只是在早期测试或预风险试验中使用 。 IT之家了解到 ， GlobalFoundries有两台早期的EUV机器 ， 安装了一台 ， 但最后决定不追求领先的7nm工艺 ， 将两台机器都卖掉了 ， 而中芯国际也订购了一台 ， 但据悉由于美国的限制 ， 并没有安装 。
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