世上最顶级的精密仪器ASML EUV无尘车间
我们曾多次介绍过的荷兰光刻机巨头ASML(阿斯麦) , 一台设备卖上亿 , 全球半导体厂商看其脸色!
光刻大佬一声吼 , 全球半导体抖三抖 。 荷兰ASML公司拥有世界上最好的芯片制造的核心设备--EUV极紫外光刻 。 用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板 , 国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口 。

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阿斯麦是欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司 。 高端光刻机市场ASML目前没有其他对手 , 最先进的EUV光刻机全球仅仅ASML能够生产 , 门槛极高 , 一台设备售价高达1亿美元以上 , 年出货量很有限 , 2018年在20台左右 。

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今天 , 我们将来到ASML荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)总部 , 走进EUV光刻机无尘车间 , 感受世界上最精密昂贵的芯片加工设备的生产环境有多么的严苛!

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从视频中 , 我们看到了一些关键信息:
○车间入场需全副“武装”:整套入场服包含:头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套 。
○人是无尘车间最大的污染源 , 每天代谢脱落10亿个皮肤微粒 , 都会对机器产生影响 , 必须穿入场服隔离 。
○无尘车间内的空气要比外面干净10000倍 。
○完全装配好的EUV光刻机重量可达100吨 。 (恐怖)
○无尘车间里面的温度保持恒温21度 。
○除了荷兰费尔德霍芬 , ASML还在美国、台湾、韩国拥有无尘车间 。
○费尔德霍芬所有无尘车间的面积已超过5万平米 。
【世上最顶级的精密仪器ASML EUV无尘车间】○运送一台ASMLEUV光刻机需要六架飞机 。
光刻机这种高精度光机一体化设备 , 研发过程没有捷径可走的 , 精度只能一步步提升 。 而ASML独特的商业模式也难以复制 , 不知大家观赏完了阿斯麦的无尘车间 , 有何感想?

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