科工力量|科工力量:凭借一国之力能搞出光刻机吗?( 三 )



ASML的新型光刻机,对尼康,佳能造成致命打击后,世界各大半导体厂商的订单纷涌而至 。此后,随着光刻技术的不断改进,浸入式光刻机一直做到现在的7nm 。看着ASML日益壮大,美国华尔街资本闻风而动,大量购买这家公司股份,实现控股 。现在ASML的三大股东:资本国际集团、贝莱德、英特尔,都来自美国 。经过这些操作,ASML“顺理成章”地成为了半个美国公司 。
“美国光环”也给ASML带来好处,2009年,美国的Cymer公司研发出EUV光刻机所需的大功率光源,成为ASML的供应商,这种光源是光刻机的核心零件,全球有这样技术的公司不超过三家 。2013年,ASML决定收购Cymer公司,美国政府同意了 。
在《瓦森纳协议》框架下,欧美国家最先进的光刻机一直对华禁售 。可以出售的那些也都附带由保留条款,禁止给中国国内自主CPU做代工 。中国芯片起不来,有一部分原因是买不到先进设备 。
国产光刻机起步并不晚,从上世纪70年代算起,清华大学精密仪器系、中科学院光电技术研究所、中国电科45所,都投入力量研发,但与欧美最先进的设备相比,差距较大 。在光刻技术上,中国积累不足 。全球光刻机专利数量排名前十的公司,除了台积电,都是外国公司 。
目前,芯片制程正在向5nm以下演进,只有英特尔、台积电、三星等少数企业,掌握最先进的芯片生产线,他们与原材料生产商、半导体设备商,相互持股,构成“你中有我,我中有你”的垄断格局 。
光刻机作为最重要芯片制造设备,已经不是一个国家或几个企业能完成的工程,必须与全球顶级的光源、光学、材料、关键零部件厂商进行合作 。美国试图遏制中国半导体产业发展,但我们不能因此放弃与国外的技术交流 。中国企业要在一些关键领域实现突破,掌握别人没有的技术,高端光刻机制造才有我们的话语权 。


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