行业互联网|预见2020：2020年中国PVD设备产业全景图
PVD(物理气相沉积)技术即在真空条件下 ， 采用物理方法 ， 将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子 ， 并通过低压气体(或等离子体)过程 ， 在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术 。其早在20世纪初已有些应用 ， 但30年迅速发展 ， 成为一门极具广阔应用前景的新技术 ， 目前其主要应用于半导体制造的流程之中 ， 在注塑模具 ， 五金模具以及机械与化工领域均有应用 。
PVD设备则是PVD技术的载体 ， 其主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成 。
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产业政策——对于PVD设备较为重视
从政策环境上来看 ， 我国对于PVD设备较为重视 ， 其主要体现在相关政策对于发展半导体设备的支持 。如《“十三五”国家科技创新规划》中 ， 薄膜设备(PVD设备、CVD设备等)被列为国家需要攻克的高端制造装备;《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》中也提到 ， 要推进集成电路关键装备的关键核心技术突破与应用 。
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技术工艺——应用范围不断扩展
PVD最初的研制主要用于制造人造卫星需要耐磨的零部件 ， 随着其处理技术不断发展 ， PVD技术的应用范围也开始不断扩展 。
目前 ， PVD已经演化出了较为固定的气化、迁移和沉积的流程 ， 且根据不同的材料与下游应用 ， 演化出了不同的PVD技术 。
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竞争格局——应用材料占据大头
全球PVD设备市场 ， 应用材料(AMAT)基本上实现了垄断 。SEMI数据显示 ， AMAT所占全球PVD市场份额约为85% ， 其次为Evatec和Ulvac ， 分别占6%和5% 。
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市场规模——市场规模稳定增长
【行业互联网|预见2020：2020年中国PVD设备产业全景图】近年来 ， 全球PVD设备市场稳步增长 ， 2019年 ， 全球PVD设备市场规模已超过25亿美元 。虽然2020年 ， 全球经济受到新冠疫情的冲击 ， 呈现出明显的下行态势 ， 但PVD设备下游领域增长十分强劲 ， 预计自2021年起 ， 全球PVD镀膜机的消费量将进一步呈现上升趋势 ，2025年市场规模将达到32.51亿美元左右 。
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国产化分析——国产化率不断提升
近年来 ， 我国PVD设备制造工艺不断进步 ， PVD设备国产化率不断上升 ， 截至2019年 ， 我国PVD设备国产化率已达到15%左右 。但从我国PVD设备制造技术的进展情况来看 ， 部分类型的产品我国仍暂无生产能力 ， 与海外龙头企业之间仍存在一定的差距 。
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