科学探索|揭秘!光能科技入选华为芯片制作供应链的高新技术到底是啥?
5月 , 台积电再次发布警告 , 称半导体供应链或中断 , 这引起全球新一轮的芯片恐慌 。
为应对风险 , 实现技术赶超 , 早在2004年 , 华为就成立子公司海思半导体开展包括半导体供应在内的芯片自主研发工作 , 2019年 , 鄂尔多斯高新区入园企业光能科技超高灵敏度激光气体检测技术成功入围华为供应链 。
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那么问题来了 , 超高灵敏度激光气体检测分析技术到底是什么?为什么能成为芯片研发的重要技术?今天 , 小编和您一起揭秘相关技术!
众所周知 , 芯片最基本的材料是硅 , 由沙子脱氧后反复净化得到 , 经过切割 , 就得到最初的晶圆 。
晶圆通过光刻显影、蚀刻、离子注入、电镀等一系列步骤 , 逐渐改变晶圆结构和导电特性 , 形成无数个微型电路 。
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为完美制作芯片 , 每个步骤需要的精度都非常高 , 难度堪比将全国的电网做到指甲盖大的一个芯片上 , 这也是芯片具有强大的计算能力的主要原因 。
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目前主流的蚀刻工艺有湿法和干法两种 。
湿法即使用液体化学剂(酸、碱或溶剂)直接洗去晶圆上不需保留的部分 。
干法即将晶圆表面暴露于气态的等离子体 , 等离子体与晶圆发生物理或化学反应 , 反应掉需保留的部分 。
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相比湿法而言 , 干法的蚀刻方向性强 , 工艺控制精确 , 方便 , 无脱胶现象 , 无基片损伤和沾污 , 是亚微米(100-1000纳米)尺寸下蚀刻器件的最主要方法 。
为实现精准蚀刻 , 芯片制造中对实现蚀刻功能的气态等离子体的纯度要求非常高 , 水分子或其他杂质气体的含量不高于万分之一甚至十亿分之一(ppb级) , 如何精确检测蚀刻气体 , 以保证蚀刻有效性 , 成为了让芯片制造商头疼的问题 。
其中 , 光能科技的气体检测技术能够很好的解决这一问题 。
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光能科技的气体检测技术精度高、反应快 , 与其他气体检测仪最大的区别在于使用了光腔衰荡光谱技术 , 这个技术听起来很神秘 , 最基本的原理并不复杂 。
自然界中的物质 , 受到光照都会吸收能量 , 有些吸收能力强 , 有些吸收能力弱 , 这也是夏天穿深色衣服吸热快的原因 。
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一些高精技术(如芯片制作)用到的气体对于纯度要求特别高 , 仅靠化学反应难以实现高精度的含量测定工作 。
光腔衰荡光谱技术使用激光照射需要检测的气体吸收池 , 气体分子会吸收激光能量 , 根据分子吸收的激光能量多少就可以判断分子有哪些类型 。
但还有一个问题没有解决 , 气体吸收池的吸收能力有限 , 激光的能量很强 , 一次吸收掉的能量不多 , 激光的强度变化不大 。
聪明的科学家想到了高反镜 , 使激光在吸收池里被多次反射 , 这样在吸收池中的气体分子就可以多次吸收激光能量 。
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