酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机

不等EUV光刻机入手 , 中芯国际自己先闹了个头条新闻:
在7月6日(也就是今天)举办的中芯国际路演活动中 , 又有投资者问到“EUV光刻机何时投入生产”的话题 。 中芯国际董事长兼执行董事周子学对此表示 , 设备采购将依据相关商业协议进行 , 不会对单一设备的采购情况进行评论 。
另外 , 中芯国际目前量产和主要的在研项目 , 暂时用不到EUV光刻机 。
暂时用不到EUV光刻机 。
暂时用不到EUV光刻机 。
暂时用不到EUV光刻机 。
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
【酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机】有句俗话说得好 , “没有金刚钻 , 甭揽瓷器活”——反过来说 , 用不上一流的工具 , 往往意味着技术水平还没达到相应的境界 , 放在今天这个标题下 , 大概就是“中芯国际技术不行 , 搞到EUV光刻机也是白搭”的意思——还真别说 , 早上报道一出 , 认同这个观点的拥趸大有人在 。
“所以说 , 被我们视作中国半导体希望的中芯国际 , 原来只是个色厉内荏的样子货?”
先别忙着下定论——要想回答这个问题 , 首先要搞清楚一点前置结论:
中芯国际的技术实力到底是个什么水平?
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
从目前媒体报道的内容来看 , 14nm制程的手机芯片 , 对于中芯国际来说已经可以实现量产 。 虽然距离旗舰芯片所需的制程还有差距 , 但满足一下中低端廉价手机的芯片供货需求 , 基本上问题不大 。
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
另一方面 , 虽然稳定量产高端手机处理器还有不小的差距 , 但在手机芯片以外的应用领域 , 例如车机、网络交换机还有无线基站等平台上 , 中芯国际的生产能力已经可以适应不少甲方的需求 。
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
不仅如此 , 如果我们把验证阶段的技术也算进来的话 , 中芯国际的N+1与N+2在加工水平上其实与7nm制程已经相差无几 , 区别仅仅是性能绝对值还有差距 , 但优势同样是一目了然——至少在理论上 , 想要实现N+1和N+2工艺 , EUV光刻机并不是必备前提 。
但这样一来 , 一个新的命题就出现了:
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
既然利用已有的芯片生产设备 , 理论上同样可以制造出和7nm制程接近的芯片 , 我们为什么还要去追求昂贵且有价无市的EUV光刻机呢?
真是个有趣的问题 。
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
在不少朋友的印象中 , 光刻机的功能原理顾名思义 , 就是像刻刀一样在硅片上雕刻出各种极细的沟槽 , 为进一步加工集成电路做好准备;芯片制程的极限 , 和光刻机的光源波长成正比 , 之所以EUV(极紫外光)光刻机能加工7nm甚至5nm的芯片 , 最直接的理由就是EUV光源的波长够短 。
这套理论听上去确实通俗易懂 , 但问题在于 , 目前流行的ArFDUV光刻机光源波长是193nm , 而EUV光刻机光源的波长则是13.5nm——换句话来说 , 指望通过“光源直接雕刻晶圆”的方式制造目前主流的7nm制程手机芯片 , 显然属于不可能的任务 。
酷玩实验室|是技不如人还是咋回事?,中芯国际用不上EUV光刻机
文章图片
事实上 , 目前主流的商用光刻机作用的介质并不是硅片 , 而是覆盖在硅片上的光刻胶——在硅片上均匀覆盖好这种涂层 , 然后通过光刻机将掩膜上的图案(也就是芯片的设计图)曝光转印到光刻胶涂层上 , 经过固化和溶剂显影 , 最终在晶圆上完成了芯片制造的蚀刻环节 。


推荐阅读