5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术：产能大涨600%
提到荷兰
ASML公司 ， 大家都知道他们是全球唯一的
EUV光刻机供应商 ，
7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备 。 不过
ASML不只是光刻机厉害 ， 今天他们宣布了另外一个新产品——第一代
HMI多光束检测机
HMIeScan1000 ， 适用于
5nm及更先进工艺 ， 使得产能大涨
600% 。
随着制程工艺不断提升 ， 晶圆的制造也越来越复杂 ， 这也会导致晶圆中的错误更多 ，
HMIeScan1000就是一套基于
HMI多光束技术的检测系统 ， 内部也有复杂的光电子系统 ， 能够产生、控制多个电子束 ， 然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量 ， 并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量 ， 还要有计算系统处理电子束的数据 。
简单来说 ，
ASML研发的这个
HMIeScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统 ， 工艺越先进 ， 检测系统就越重要 ， 它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率 。
ASML的
HMIeScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束 ， 所以产能提升了
600% ， 可以大大减少晶圆质量分析所用的时间 。
目前
HMIeScan1000可以用于
【5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术：产能大涨600%】5nm及以下先进工艺的晶圆测试 ， 已经交付给客户进行测试验证 ， 未来
ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求 。
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