国内半导体科研设备市场占据一席之地，鲁汶仪器完成过亿元B轮融资
集微网消息（文/小北）近日 ， 江苏鲁汶仪器完成过亿元B轮融资 ， 本轮融资由中科创星领投 ， 中冀资本、中域资本、祥晖资本、红星美凯龙、中杰投资等多家投资机构跟投 ， 老股东汉唐周本轮继续追投数千万元 。
据悉 ， 鲁汶仪器本轮融资资金主要用于团队建设、设备快速研发和迭代 ， 市场拓展备货等方面 。
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鲁汶仪器成立于2015年 ， 针对半导体科研设备市场推出了一系列设备 ， 如ICP刻蚀、IBE刻蚀、PECVD沉积设备、ICP-CVD沉积设备、检测设备等 ， 目前鲁汶仪器在国内半导体科研设备市场已经占据一席之地 。
据中科创星官方消息 ， 鲁汶仪器创造性的提出了ICP+IBE+PECVD多腔体刻蚀技术方案 ， 配合鲁汶仪器专利技术的腔体在线清洗技术 ， 目前已获得多家国内外顶级研发机构、生产企业的高度评价 ， 有望解决困扰业界的磁性薄膜材料刻蚀难题 ， 为MRAM存储器的大规模量产提供可靠、经济的刻蚀解决方案 。
【国内半导体科研设备市场占据一席之地，鲁汶仪器完成过亿元B轮融资】在研发磁存储器刻蚀设备的同时 ， 鲁汶仪器还针对国内8英寸集成电路产线扩产困难的情况 ， 开发出了量产型的金属刻蚀机等装备 ， 目前该设备已与多家国内主流企业达成合作意向 。 （校对/小如）
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