华卓精科与清华大学联合研发，首台国产干式光刻机双工件台产品完成测试
集微网消息 ， 华卓精科消息 ， 近日,由北京华卓精科科技股份有限公司和清华大学联合研发的首台国产干式光刻机双工件台产品完成测试 ， 移机交付整机单位进入光刻机联合调试阶段 。
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图片来源：华卓精科
该产品研发历时5年 ， 突破了超精密机械设计、超精密位移测量和超精密运动控制等系列关键技术 ， 其移机交付标志着国产双工件台光刻机研发向前迈出了至关重要的一步 。
双工件台是华卓精科的核心产品,该产品在转移自清华大学创新研发的包括平面电机、冗余驱动磁悬浮微动台、纳米精度超精密测控、双工件台超稳定动态平衡技术在内的多项核心技术基础上联合研发 ， 在总体技术架构方面达到世界先进水平 ， 2018年获得北京市科学技术奖技术发明类一等奖 。
工件台是光刻机产品平台的核心主体 ， 搭载不同曝光光学系统和光源可形成全系列光刻机 。 工件台有单工件台和双工件台两种不同的技术形式 ， 其中双工件台技术凭借其高产率、高精度优势已经成为高端光刻机市场的不二选择 。
据华卓精科官方消息 ， 本次交付的双工件台产品主要用于干式光刻机 ， 未来随着技术的升级和拓展 ， 华卓精科与清华大学联合研发的双工件台产品将逐步实现系列化 ， 全面应用于我国的浸没式光刻机和极紫外光刻机 。
【华卓精科与清华大学联合研发，首台国产干式光刻机双工件台产品完成测试】资料显示 ， 北京华卓精科科技股份有限公司创立于2012年 ， 由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立 ， 是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业 。 公司建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化 ， 通过“技术辐射＆下行”的方式 ， 面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品 。 （校对/图图）
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