『浅谈科技装备』芯片制造中的电子特气，欧美垄断多年，我国斥资三千多亿取得突破
长期以来 ， 欧美对于中高端电子市场几乎处于垄断地位 ， 不过他们对于高端科技的投入也确实是比较难超越 。 在世界半导体科技产业中 ， 有一类特种气体非常重要 ， 这种气体纯度能否达到极致 ， 决定着电子产品性能的强大 ， 这就是我们今天要讲的电子特气 。
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随着近些年中国科技的飞速发展 ， 全球半导体电子产业链开始逐渐向中国靠拢 ， 那么怎么将这类气体实现国产化 ， 是一个很重要的事情 ， 将对中国半导体行业的发展起到关键的作用 。 目前 ， 全球整个半导体行业中 ， 总共有大约110多种特种气体 ， 其中的30多种是半导体行业的重要原料 。
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当今全球电子特气的龙头市场 ， 一直被欧美国家牢牢掌控着 ， 我国在这方面一直处于劣势 ， 几乎全球90%以上的电子特气市场份额都被美国、日本、德国和法国等公司所垄断 。 我们国内电子特气的发展起步较晚 ， 美日法德这些巨头公司们 ， 占据了我们国内市场上80%以上的份额 。 电子特气作为半导体电子产业重要的原材料气体 ， 一直被人们称为电子行业的“血液” ， 其被广泛用于各种半导体电子的制造工艺中 。
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全球电子特气市场格局
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2018 年全球半导体制造材料成本结构
在半导体芯片的几个关键制造过程中 ， 比如掺杂过程、刻蚀过程和清洗过程等等 ， 都离不开这种特殊气体的应用 。 基于电子特气的重要性 ， 我国在2014年专门成立了集成电路投资基金 ， 其第二批基金2000亿元已于去年到位 ， 再加上之前第一批的投资 ， 总共筹备了三千多亿的资金去扶持半导体和材料行业的发展 。
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而在电子特气的研究制造上 ， 国内一家名为昊华科技公司接连取得突破 ， 其在三氧化二氮、三氟化氮和高纯硫化氢等电子特气上 ， 已经掌握了完整的制取方法 。 而且在4N高纯硒化氢特种气体制取上 ， 已经成为了国内第一家能批量生产此气体的科技公司 。
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【『浅谈科技装备』芯片制造中的电子特气，欧美垄断多年，我国斥资三千多亿取得突破】
随着中国集成投资基金会的扶持下 ， 以及国家对这方面的逐渐重视 ， 目前我国在特种气体领域取得了一定的成果 。 目前 ， 我国在高纯度氖气、笑气和砷烷上均实现了自主制取 。 在此之前 ， 我国每年进口这些特殊气体都要花费不小的资金 。
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而且西方欧美国家拿准了中国人造不出来 ， 他们往往以超高的价格卖给中国 ， 和现在国产气体的价格相比 ， 足足贵了两三倍 ， 也导致了我国企业在集成电路行业的竞争率比较低 。
随着国产特种气体行业的突破 ， 我国的国产替代计划也将迎来春天 。 在中国半导体高端电子特种气体制取上 ， 昊华科技堪称是国产电子特气的先驱者 ， 希望在不远的将来 ， 我们能彻底打破欧美公司在这方面的垄断 ， 加油 ， 我的国！
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