万业企业全资子公司凯世通荣获北京市科技进步奖一等奖
3月26日 ， 北京市科学技术委员会公示了2019年度北京市科学技术奖项目评审结果 ， 其中 ， 万业企业全资子公司凯世通等共同承担的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目成功荣膺科技进步奖一等奖 。
北京市科学技术奖是北京市政府在科技方面的最高奖项 ， 由北京市人民政府设立 ， 旨在奖励做出重大科学发现、重大技术发明 ， 完成和应用推广创新性科技成果 ， 在推动科技进步和经济社会发展方面具有突出贡献的个人和组织 。 此次凯世通大束流离子注入机装备及工艺研发项目获得科学技术进步奖 ， 标志着凯世通的技术研发实力有了进一步的提升和突破 ， 也无疑成为万业企业转型集成电路的助推器 。
离子注入市场规模大 ， 行业壁垒打破难度高
凯世通是目前国内唯一覆盖集成电路、光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业 ， 其研发生产的离子注入机是半导体制造工艺中技术最为复杂的设备之一 。 离子注入机与光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备被并称为集成电路制造的“四大金刚” 。 据资料查询 ， 万业企业于2018年成功收购离子注入机制造商凯世通 ， 向集成电路转型迈出关键的一步 。 离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂 ， 从而改变其特性的工艺制程 ， 在集成电路（IC）工业中得到广泛的应用 。 作为离子注入制程的装备—离子注入机 ， 是先进IC生产线上最关键的工具之一 ， 每年全球拥有15-20亿美金的市场规模 。
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凯世通IC离子注入机
同时 ， 据广发证券分析了解 ， 离子注入机行业还存在较高竞争壁垒 ， 行业集中度较高 ， 整体而言整个市场主要由美国厂商垄断 ， 美国应用材料公司和美国Axcelis公司合计占据全球70%以上的市场 。 分领域来看 ， 半导体制造领域应用材料、Axcelis和汉辰科技AIBT地位领先 ， 太阳能电池生产领域主要为中国大陆万业企业旗下凯世通、美国Intevac和日本真空技术三家 ， 其中万业企业旗下凯世通竞争地位领先 。
产业项目有序推进 ， 产品服务持续突破
根据万业企业最新动态了解 ， 万业企业全资子公司凯世通的低能大束流集成电路离子注入机日前也已搬进杭州湾洁净室 ， 目前正在根据集成电路芯片客户工艺要求 ， 进行离子注入晶圆验证阶段 。 这标志着公司已具备先进制程的低能大束流离子注入整机工艺验证的能力 ， 未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G射频、摄像头CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺验证服务 ， 提升客户晶圆制造能力与芯片性能 。
此次凯世通低能大束流离子注入机的迁机成功 ， 也标志着其产品在低能和大束流等核心指标 ， 特别是束流强度指标上 ， 已达到或超过国外同类产品 ， 因此可更好的降低单位成本消耗 ， 满足国内集成电路行业实际应用 。
值得注意的是 ， 随着集成电路工艺技术的持续提升 ， 晶体管不断缩小 ， 集成电路制程进一步向尖端工艺发展 ， 这对相关生产制造设备也提出了更高的要求 。 在此背景下 ， 万业企业聚焦的技术含量最高的低能大束流离子注入机日渐成为主流 。 根据有关资料显示 ， 目前低能大束流离子注入机已占有离子注入机市场份额的55% 。
结合国内外集成电路制程技术路线现状 ， 凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力设计理念 ， 着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机 ， 并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点 ， 建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准 。
同时 ， 在面对集成电路离子注入机较低的生产率、昂贵的造价和庞大的占地面积等众多挑战下 。 凯世通根据太阳能电池工艺的实际情况和需求 ， 为光伏产业量身订制众多产品 ， 大大降低客户的固定资产投资规模、增加产品的市场竞争力 ， 保证了高效的生产率和较低的制造成本 ， 为客户产线升级和高效电池的生产提供了一条有效途径 。 目前凯世通产品不断深入国内市场 ， 并已进入国内多家知名客户 ， 太阳能离子注入机产品的主要客户为中来股份、英利集团、锦州华昌、苏州国鑫、陕西有色等 ， 实现销售量数十台 。
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凯世通IC离子注入机
【万业企业全资子公司凯世通荣获北京市科技进步奖一等奖】公司表示 ， 凯世通目前正持续加大对集成电路离子注入机的研发力度 ， 力争尽快培育出有市场竞争力的量产机型 。 此外 ， 公司未来将继续依托国内外双渠道资源力量 ， 以“外延并购+产业整合”双轮驱动模式 ， “集成电路+产业投资+产业园”三驾马车并驾齐驱前行 ， 全面转型为集成电路高端装备材料龙头 ， 助力国产集成电路的整体发展 ， 致力于将公司打造成中国集成电路装备的大国重器 。
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