光明网@上海科研人员“定制”微器件 为新材料应用探路
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中科院上海技术物理研究所 供图（图片说明：覆盖有铁电薄膜的半导体器件） 郑莹莹 摄
中新网上海1月25日电 (郑莹莹)微电子器件(简称：微器件)“潜伏”在人们日常生活中 ， 比如一部普通手机的CPU(中央处理器)里有多达百亿个晶体管(微器件的一种) 。 据来自中国科学院上海技术物理研究所的消息 ， 该所的王建禄研究员等人 ， 通过新型制备方法 ， 能按需定制微器件 ， 有望加速未来的新型半导体材料的应用 。 相关成果于北京时间25日在线发表于国际期刊NatureElectronics(《自然·电子学》) 。
王建禄研究员在上海接受媒体采访时介绍 ， 传统的半导体微器件工艺过程十分繁琐复杂 ， 例如 ， 要通过几百道甚至上千道的工艺 ， 才能获得常用的计算机芯片 ， 研究团队探索的是：如何以简单的工艺 ， 按需定制微器件 。
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中科院上海技术物理研究所 供图(图片说明：王建禄研究员在展示铁电薄膜层的透光性) 郑莹莹 摄
可以这么描述他们的制备方法：用“纳米画笔”在“画布”上画出微器件 。 这里的“纳米画笔”指的是纳米尺度的针尖 。 “画布”则是一种特殊的纳米薄膜——铁电薄膜 。
“这层具有极性的铁电薄膜就像一张纳米厚度的神奇画布 ， 运用纳米画笔可以在画布上任意作画 ， 画作就是各类微器件 ， 还可以反复擦写画布 ， 这种方法给制备微器件提供了丰富的想象力 。 ”王建禄如是说 。
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中科院上海技术物理研究所 供图(图片说明：王建禄研究员(中)和博士研究生吴广健(左)、伍帅琴(右)) 郑莹莹 摄
王建禄同时也指出 ， 这种制备方法适用于几乎所有的半导体薄膜材料 ， 但由于传统材料的制备工艺已相对成熟 ， 新方法更适合用于未来新型低维半导体材料的应用上 。
据悉 ， 这项研究由中国科学院上海技术物理研究所与复旦大学、华东师范大学、南京大学、中国科学院微电子所等多个课题组合作完成 。 (完)
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