光刻机|ASML公布最新一代EUV光刻机3600D：生产效率增加18%
10月14日，荷兰ASML（阿斯麦）公布了光刻机产品的最新进展 。
其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统，终于敲定最终规格 。
具体来说，30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1nm 。
【光刻机|ASML公布最新一代EUV光刻机3600D：生产效率增加18%】3600D定于2021年中旬出货交付，客户还需要一定时间等待，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元 。
目前，ASML已经投产的最先进光刻机是3400C，但主力出货型号是3400B 。参数方面，3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小时可曝光125片晶圆 。
另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了软件升级 。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证，四季度早期开始正式出货 。
据悉，在截止9月30日的单季度，ASML共获得60台光刻机收入，出货了10台EUV光刻机 。
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#阿斯麦#光刻机
责任主编：万南
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