行业互联网|三星和SK海力士将采用EUV生产DRAM,美光:暂不跟进


集微网消息(文/Oliver) , 日前 , 据韩国媒体报道 , 三星电子和SK海力士都将在DRAM生产中导入EUV技术 , 以建立更高的技术壁垒 。 对此 , 美光(Micron)企业副总裁、中国台湾美光董事长徐国晋表示 , 美光不打算跟进 , 目前并无采用 EUV 计划 。
【行业互联网|三星和SK海力士将采用EUV生产DRAM,美光:暂不跟进】
行业互联网|三星和SK海力士将采用EUV生产DRAM,美光:暂不跟进
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目前 , 三星电子、SK海力士和美光科技占据全球DRAM市场约94%的份额 , 而三星电子和SK海力士约占74%的份额 。
据ETNEWS报道 , 三星电子上个月开发出的EUV DRAM是基于该公司的第三代10nm级(1z)工艺构建的16Gb LPDDR5 DRAM 。 该移动DRAM的速度为6,400 Mb / sis , 比当今大多数旗舰智能手机中的12Gb LPDDR5(5,500 Mb / s)快16% 。 当DRAM制成16GB封装时 , 它能够在一秒钟内处理51.2GB 。
不过 , EUV光刻机需要大量投资 , 因为单个EUV光刻机的成本为1.29亿美元 。 该技术还具有很高的技术壁垒 。 但是 , 三星电子做出了一项大胆的决定 , 就是将EUV DRAM商业化 。 三星电子的下一个目标是将EUV技术应用于基于第四代10nm级(1a)工艺的DRAM , 该产品是三星电子的下一代产品 。
SK海力士也在致力于EUV DRAM的开发 。 该公司的未来技术研究所成立EUV光刻研发的工作团队 , 并且正在研究EUV光刻所需的必要技术 , 例如光刻、蚀刻和掩模制造 。
SK海力士的目标是将EUV工艺应用于明年年初生产的1a DRAM , 该公司还正在制定接下来的路线图 , 包括在2022年完成1b EUV DRAM的开发 。
预计SK海力士未来将在其M16晶圆厂批量生产EUV DRAM , 该工厂被认为是该公司的下一代DRAM生产基地 。 据悉 , 该公司已在其利川园区放置了两台EUV光刻机 。 一旦M16晶圆厂的建设在今年年底完成 , SK Hynix将开始在M16晶圆厂建造和部署与EUV光刻相关的必要设施和设备 。 (校对/LL)


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