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CINNO|装备｜爱发科制定中期经营计划，半导体、电子业销售额分别欲扩大1.6倍


_本文原题：装备｜爱发科制定中期经营计划 ， 半导体、电子业销售额分别欲扩大1.6倍
CINNO Research产业资讯 ， 爱发科（ULVAC）株式会社近期公布了其到2022财年（到2023年6月）的新中期经营计划--“Breakthrough2022” 。 在强化主力产品FPD设备利益体制的同时 ， 也扩大半导体和电子零部件的设备业务 ， 预计销售额比2019财年的实绩提高13% ， 为2,100亿日元（约人民币126亿元） ， 营业利润率从8.6%提高至16% 。 为此 ， 计划在三年内投资500亿日元（约人民币30亿元） ， 将半导体、电子零部件的占比提高至七成 。
CINNO|装备｜爱发科制定中期经营计划，半导体、电子业销售额分别欲扩大1.6倍
本文插图

爱发科株式会社的溅射设备（图片来源：limo）
主力产品从FPD转移至半导体、电子
爱发科株式会社是一家综合厂家 ， 其真空设备主要用于工业、研发方向 ， 在真空成膜技术方面具有优势 。 其中 ， 爱发科大型FPD的溅射设备与美国的Applied Materials并列排名全球第二 ， 一直以来爱发科的设备都是主供液晶显示屏方向 ， 支持大尺寸、高精细的FPD 。
在曾经作为主力设备的FPD的市场中 ， 液晶的大型投资越来越钝化 ， 爱发科认为 ， 今年大型电视机的液晶投资告一段落 ， 之后的投资就是8K等某些特定领域 。
另一方面 ， 爱发科自六年前就开始改革电子设备业务 ， 在上一个中期经营计划的三年中 ， 电子设备业务的利润率提高了6% 。 爱发科通过推进“模块化”和“标准化”（即在同一平台上改进溅射设备、CVD设备、蚀刻机、去胶机等多种设备） ， 成功进入了逻辑半导体的尖端工艺 。 未来会把此次的成功事例应用到其他业务中 。
半导体、电子的销售额扩大1.6倍
在新中期经营计划的三年中 ， 半导体、电子业务的销售额分别要扩大1.6倍 。 在逻辑半导体方面 ， 成功进入了用于金属硬掩膜（Metal Hard Mask ， 因导入EUV曝光而需要金属硬掩膜）的溅射工艺 。 以此为契机 ， 爱发科不仅希望加入DRAM材料变更带来新工艺 ， 还希望进入PCRAM的溅射工艺 ， 以及量产生产“批量式除去自然氧化膜设备” ， 以谋求业绩增长 。
在电子领域 ， 爱发科会抓住中国提出的“国产化”这一契机 ， 采取措施 。 由于客户的咨询急剧增加 ， 爱发科将会通过“模块化”增加改进设备的机会 ， 并通过加强对功率元件、MEMS、光学器件、通信元件的“本地化服务”和增加样机 ， 来培养新客户 。
功率元件方面 ， 爱发科在用于硅IGBT背面的溅射设备方面有丰富的经验 ， 会将经验推广至台湾、中国 ， 以300mm晶圆的推广来提高生产效率 。 还会将IGBT?SiC离子注入设备推广至亚洲、欧洲 ， 也在致力于研发降低GaN的功耗 。
MEMS方面 ， 爱发科已经拥有通过强介电体溅射技术在CMOS上PZT-MEMS成膜的量产设备经验 。 爱发科认为未来依旧需要半导体级别的设备技术 ， 因此 ， 积极与欧洲、亚洲的领先企业、研究机构进行传感器和控制器（Actuator）的研发 。
通信设备方面 ， 爱发科的目标方向是用于SAW／BAW滤波器和RF的GaN元件等的成膜、蚀刻设备 。 爱发科会致力于技术革新（包括爱发科擅长的材料研发） ， 把5G、IoT的普及带来的用量增加当做一大商机 。
爱发科认为2022财年FPD的收入会下滑 。 用于OLED的蒸镀设备会陷入困境 ， 但背板（Backplane ， 背面驱动基板）还有商机 ， 因此致力于构筑8K、新一代OLED技术 。 此外 ， 还计划将Roll-to-roll设备（卷对卷设备）应用于电池的生产中 。
【CINNO|装备｜爱发科制定中期经营计划，半导体、电子业销售额分别欲扩大1.6倍】此外 ， 爱发科还计划扩充以低温泵（Cryo Pump ， 在OLED领域几乎占有100%份额）为代表的零部件阵容、扩大材料业务（主要是在IGZO领域占有约七成份额的材料） 。 爱发科的“客户支持业务”已经拥有约9000台设备的服务实绩 ， 且会继续开发模式拓展业务 ， 2019财年“客户支持业务”在销售额中的占比为28% ， 计划在2022财年将这一占比提升至30% 。


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