光刻机|ASML豪言“给你们图纸你们也造不出光刻机”,上海微电子反击

光刻机|ASML豪言“给你们图纸你们也造不出光刻机”,上海微电子反击

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光刻机|ASML豪言“给你们图纸你们也造不出光刻机”,上海微电子反击

荷兰的ASML拥有全世界顶尖的集成技术 , 并且拿到了全世界顶尖供应商制造出的顶级部件 , 于是制造出全世界顶级的光刻机 , 这两个原因共同造就了ASML模式 , 至今为止只是满足了那个群中成员国的顶级光刻机需求 。 所以说全世界能够制造顶级光刻机只有荷兰 。 ASML模式也是全世界顶尖制造商共有模式 , 即全世界其他顶尖制造商和供应商 , 能够制造出顶级产品共有的原因 , 高度雷同 , 所以虽然美国、韩国、日本等在高科技上比荷兰强得多的国家没有制造出顶级光刻机 , 却又有其它的顶级制造高科技产品 。


ASML模式也是国产光刻机制造模式 , 同为系统集成商的上海微电子突破28nm光刻机 , 所依靠的是国内的北京科益虹、国望光学、华卓精科、浙江启尔机电等 , 分别集成了各自的光源系统、镜头、浸入式双工作台、浸液系统等部件技术 。 不同的是上海微电子成立于2002年 , 比ASML晚了18年;还有1个最大的不同 , 即这些国内半导体产业链上的供应商都不是世界顶尖 , 比ASML依靠的计量设备和光源美国供应商、镜头和精密仪器德国供应商、轴承瑞典供应商等差了不止一个量级 。

那么为什么上海微电子没有把美国、德国、瑞典的部件技术顶尖企业作为供应商?一言以蔽之 , 只因为不属于一个群 。 上海微电子一定会改变和打破全世界只有荷兰能够制造顶级光刻机的历史和格局 , 作为国产光刻机龙头企业的上海微电子和其国内供应商历经13年实现了60nm、45nm、40nm三代技术的跨越 , 着实艰难 , 主要艰难在国内半导体产业起步晚所致的产业配套技术不完善 , 也是因为国内受到了国外的那个群基于《瓦森纳协定》所行的高端设备和尖端技术长期出口管控和封锁 。

【光刻机|ASML豪言“给你们图纸你们也造不出光刻机”,上海微电子反击】在此情况下 , 可见上海微电子和其供应商的发展并非很慢 , 上海微电子总共才有18年历史 , 而非ASML的36年;何况 , 光刻机制造本身就很难 , 有不少人说比造原子弹还难 。 展望未来由于上海微电子和其国内供应商所具有的技术基础并不浅薄 , 合作基础深厚 , 尤其是让国内形成了光刻机全产业链 , 而且国内的需求空前众多、国产光刻机达到高端至世界顶尖完全可期 , 时间一定会证明 。


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