自主品牌|精密运动之QFL3D系列三轴气浮运动台


深圳市煜熙科技有限公司是在国家大力发展高端制造 , 鼓励发展自主品牌的大背景下 , 由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立 。 团队具有多年核心部件研发经验 , 拥有多种高端应用领域经验 , 成熟的产品应用案例 。 经过多年精密运动平台的技术积累和沉淀 , 已形成了一整套完备的精密运动平台系统的研发和生产体系 。 特别在气浮理论计算、实验仿真分析、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚的实力 。
深圳市煜熙科技有限公司面向全国各大高校、研究院及高端装备制造企业提供最优的运动平台系统及解决方案 。
背景介绍 BACKGROUND INTRODUCTION
QFL3D 系列是目前我司制造的性能卓越 , 结构紧凑的三轴气浮运动台 。 广泛应用于精密加工 , 测试测量 , 扫描、半导体及光子学对准等行业 。 由于非接触式运动 , 精度高 和结构紧凑是行业内的理想选择 。
特点
非接触式气浮导轨结构
重复定位精度 ±75nm
微动步距 5nm
结构紧凑、精度高优化线缆管理系统
Z 轴低摩擦气缸配重
根据需求可定制
自主品牌|精密运动之QFL3D系列三轴气浮运动台
本文插图

直线台设计 LINEAR STAGE DESIGNING
QFL3D 是一款非接触式预负载气浮直线台 , 气浮非接触
式结构已经证明是精密应用中的理想选择 , 适用于微纳 制造 , 测试测量和光子学对准等应用 , 具有体积小 , 精 度高和外观紧凑等特点 , 无论是微动步进 , 还是速度稳 定性的要求 , QFL3D 都证明是最终的解决方案 。
定制化设计 CUSTOM DESIGNING
根据用户实际应用 , 可以选择单轴 , 双轴 , 三轴等多种结构 , 如单轴 Z 轴低摩擦气缸配重结构 , 双轴 T 形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制 。 为使阿贝误差影响到最小 , 各轴也可以定制化 , 保证精度性能 。
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备注:
1.空气供应需清洁 , 干燥至 0°F 露点 , 灰尘颗粒过滤≤0.25um 或纯度 99.99% 氮气 。
2.以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上 25mm 处 , 测试环境温度 20±1℃ , 湿度 40%-60%RH.
管线优化管理 CABLE MANAGEMENT
经过多年的研究 , 线缆管理对精指标度有影响 , 我们精心优化管线弯曲半径 , 防止动作过程中线缆的拉伸影响
到气浮台的性能 , 使用高质量的电缆 , 以确保无故障操作 ,减少停机时间 。 同时使设备外观更整洁 , 创造良好的作
业环境 。
洁净室兼容性 CLEAN ROOM COMPATIBILITY
【自主品牌|精密运动之QFL3D系列三轴气浮运动台】气浮轴承本质上与洁净室环境兼容 , 高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境 。


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