中芯国际供应链上的设备与材料
文章转自半导体设备与材料
二零二零年第一季资本开支7.77亿元 ， 同比、环比均大幅增长. 。 SMIC将2020年资本开支计划从32亿提高至约43亿元 ， 相当于2019年资本开支的2倍 。 本次增加的资本开支主要用于上海300mm晶圓厂的设备采购等 。
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根据SMIC公告 ， 2019年至今 ， 公司累计采购应用材料、LamResearch、TEL的工艺设备达27亿美元 ， 如果考虑光刻机、绝大部分量测设备在内 ， 总设备采购金额估计超过35亿美元 ， 表明SMIC工艺设备采购进入高峰 。
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中芯国际推进14nmFinFET产能建设 。 中芯国际联席CEO梁孟松在2019年四季度财务说明会上表示 ， 14nm制程的产能将分三个阶段逐步提升 ， 即从19年底的3,000片/月逐步提升至今年底15,000片/月 ， 实现14nmFinFET第一个工厂的1/2产能建设；同时 ， 第二代FinFET制程N+1工艺芯片也进入了客户认证期 ， 预计今年第四季度将实现小规模量产 。
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SMIC供应链上的国产半导体设备与材料
根据各公司公告 ， 尽管国产设备和材料尚未大量进入中芯国际的14nmFinFETSN1工厂 ， 但以江丰电子、中微公司等已具备7nm/5nm制程部分设备与材料供应能力 ， 北方华创、盛美半导体具备14nm制程部分设备供应能力 ， 安集科技、华特气体、雅克科技、至纯科技、沪硅产业、屹唐半导体、沈阳芯源、沈阳拓荆等均是中芯国际的设备与材料供应商 。
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【来源：王树一】
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