刻蚀机|6旬老人回国创业，从65nm到5nm耗时11年，缔造中国唯一刻蚀机巨头
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【刻蚀机|6旬老人回国创业，从65nm到5nm耗时11年，缔造中国唯一刻蚀机巨头】
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刻蚀机作为芯片制造过程中的关键设备 ， 重要程度不亚于光刻机 。 同光刻机一样 ， 刻蚀机对精度的要求极其严苛 ， 其钻头仅有一根发丝的宽度 ， 却要完成数以亿计的打孔任务 。 令人骄傲的是 ， 难度如此高的刻蚀机已被我国半导体巨头——中微半导体所攻克 。
说到中微半导体 ， 就不得不提创始人尹志尧 。 在美国加利福尼亚大学读完研的尹志尧 ， 毕业后在英特尔工作一段时间后 ， 便被Lam请去做刻蚀机研发工作 。 不过五年的时间 ， Lam便在刻蚀机领域跻身全球第一 。 不过 ， 后来Lam出现了内部管理问题 ， 于是应用材料看准时机挖走了尹志尧 。
尹志尧在应用材料工作的13年里 ， 带领公司刻蚀机业务飞速发展 ， 最终应用材料便挤掉Lam坐上了第一的位置 。 尹志尧 ， 绝对是刻蚀机行业大佬级的人物 ， 抢手程度不难想象 。 不过 ， 在2004年 ， 年过六旬的尹志尧带领着研发团队 ， 选择了回国 ， 并创建了中微半导体 。
经过16年的发展 ， 中微半导体已经成为我国唯一的 ， 也是全球领先的刻蚀机巨头 。 虽然尹志尧对于刻蚀机的制造工艺了然于心 ， 但是他明白美国知识产权管制的严苛 ， 不想惹上官司 。 于是 ， 尹志尧与团队最先做得是对海外专利的研究 ， 然后才开始国产蚀刻机的研制 。
中微半导体从65nm做起 ， 对业界刻蚀机巨头穷追不舍 ， 在公司成立三年后 ， 首台CCP刻蚀设备惊艳亮相 ， 打破我国刻蚀机领域的空白 。 而且 ， 该CCP刻蚀设备还一举打入了海外市场 ， 令人瞩目 。 此后 ， 中微半导体不断追求更高精度刻蚀机 ， 如今 ， 更是突破5nm刻蚀机 。
在2019年 ， 中微半导体交付5nm刻蚀机 。 在发展过程中 ， 除遇技术难题外 ， 中微半导体还遭到了来自应用材料、英特尔于Lam三家的轮番起诉 ， 理由是中微窃取专利 。 但是 ， 尹志尧对此早有准备 ， 因此 ， 在长达11年的官司里三家并没有讨到好处 ， 最终和解 。
用11年的时间 ， 中微半导体从65nm到5nm ， 成长速度不得不令人赞叹 。 而在2019年 ， 中微半导体成功登陆科创板 ， 同年 ， 其营收也增长至19.47亿元 。 接下来 ， 中微半导体将投身于3nm刻蚀机的研发 ， 期待其表现 。
文/BU 审核/有鱼
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