英特尔世界上最先进的EUV光刻机，为什么只有荷兰阿斯麦公司做出来了？( 三 )
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由于上游厂商零部件供应不足 ， 比如德国卡尔蔡司的镜头 ， 阿斯麦的EUV光刻机产量一直不高 。 然而 ， 下游市场对7纳米及以下制程工艺的需求却又十分旺盛 。 2011年 ， 台积电、三星电子和英特尔共同收购阿斯麦23％的股权 ， 以帮助阿斯麦提升研发预算 ， 同时也享受EUV光刻机的优先供货权 。 近年来 ， 阿斯麦已经出货的EUV光刻机 ， 主要优先供应给台积电、三星电子和英特尔等有紧密合作关系的下游客户厂商 。 目前所有中国企业中 ， 只有中芯国际向阿斯麦订购了一台EUV光刻机 ， 原计划于2019年交付 ， 但直到现在 ， 阿斯麦仍没有向中芯国际交付 。
【英特尔世界上最先进的EUV光刻机，为什么只有荷兰阿斯麦公司做出来了？】自2010年第一台EUV光刻机面世起 ， 阿斯麦的EUV光刻机出货量呈增长趋势 ， 尤其是2017年开始大幅增加产能 ， 到2019年已经实现年出货量26台 。 由于EUV光刻机有着十分复杂的结构和系统 ， 在市场上的售价也逐年上升 ， 2019年 ， 阿斯麦销售的26台EUV光刻机 ， 占该年光刻机总销售量的11.4％ ， 销售金額达30亿欧元 ， 占该年光刻机总销售金额的33.6％ 。 EUV光刻机的单价达到了惊人的1.15亿欧元 ， 约合1.3亿美元 ， 约合9.2亿元人民币 ， 两倍于浸没式光刻机的售价 。
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