厦门名记|中国唯一光刻机巨头，坐拥2400项专利，垄断国内80％的市场
5月中旬美国加强对华为芯片管制的消息 ， 不出意外地引发业内哗然 。 在美国的步步紧逼下 ， 国内不少企业都开始未雨绸缪地加快“自研+去美化”的进程 。 而考虑到台积电后续可能无法继续为华为芯片代工的情况 ， 中芯国际理所当然地被寄予厚望 ， 但遗憾的是 ， 中芯国际的7nm进程却卡在了高端光刻机的缺席上 。
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那么中国是否就对光刻机的制造一无所知呢？其实并不然 ， 中国便有一个光刻机巨头 ， 如今已经坐拥2400项专利 ， 垄断国内80%的光刻机市场份额 。 它就是上海微电子装备股份有限公司 。
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【厦门名记|中国唯一光刻机巨头，坐拥2400项专利，垄断国内80％的市场】
据公开资料显示：上海微电子成立于2002年 ， 公司主要从事半导体、泛半导体以及高端智能装备的设计和制造 ， 而生产光刻机便是其主营业务 。 作为内地光刻设备的龙头企业 ， 上海微电子曾经在中国半导体协会针对半导体设备商的实力排行中 ， 以第五名的成绩成为当时唯一一个上榜的专门研究光刻机的厂商 。
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与此同时 ， 在国内中端先进封装光刻机和LED光刻机市场 ， 上海微电子还占据了80%的市场份额 ， 实力绝对毋庸置疑 。 此外 ， 企查查数据显示 ， 截至2018年12月 ， 上海微电子的直接持有的各项专利以及专利申请数量 ， 更是超过2400项 ， “中国光刻机巨头”的称号也是实至名归 。
不过遗憾的是 ， 即便上海微电子在国内光刻机市场是数一数二的存在 ， 但若是放眼全球的话 ， 上海微电子却只能排在第四 ， 被第一名的ASML以及第二三名的日本佳能和康尼等公司远远甩在身后 。 而且相比于荷兰ASML已经可以生产出适用于7nm ， 甚至5nm制程的高精度光刻机 ， 上海微电子目前却只能生产出90nm的光刻机 ， 二者的差距一目了然 。
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值得一提的是 ， 据5月17日消息 ， 上海微电子计划将在2021年交付首台国产28nm的immersion光刻机 。 即便这一光刻机技术比之ASML有着近乎20年的差距 ， 但是对于国产光刻机而言 ， 依旧是一个极大的进步 。
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而另一方面 ， 根据最新报道 ， 上海微电子貌似又有新动作 ， 预计在2020年12月 ， 可能会下线首台采用ArF光源的SSA800/10W光刻机 ， 这一光刻机 ， 将拥有生产11nm芯片的实力 。 更令人赞不绝口的是 ， 若是其采用的华卓精科工作台的套刻精度指标优于1.7nm的话 ， 该光刻机或将拥有生产7nm芯片的实力 。
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所以从上述消息不难看出 ， 如今实力在国内光刻机市场屈指可数的上海微电子 ， 已经成为中国光刻机的希望 。 不知对此 ， 你是否认同？
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