「光刻机」国产5nm光刻机诞生之时,就是ASML生产量子光刻机之日


「光刻机」国产5nm光刻机诞生之时,就是ASML生产量子光刻机之日
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「光刻机」国产5nm光刻机诞生之时,就是ASML生产量子光刻机之日
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按照目前我国的半导体水平 , 应该还需要10年左右的时间才可以做出一台5nm光刻机 , 届时ASML可能已经成功研发出量子光刻机了 。 一台光刻机有8万多个零件 , 大多数的零件都是全球顶级 , 其中光刻机最重要的两项技术就是镜头与激光光源 , 这两项技术我们非常落后 , 与世界顶级水平差距非常大 。

相信很多人就想了 , 既然我们做不出来 , 我们可以去卖最好的镜头与激光光源 , 对于这种想法 , 在理论上确实可行 , 但实际上我们是买不到 , 荷兰ASML公司为什么可以做出先进光刻机 , 就是因为它掌握了极紫外光源技术公司 , 并且它是全球唯一一家掌握该技术公司 , 如果向ASML购买极紫外光源技术显然不可能 , ASML不可能将这项技术卖给我们 。 再加上《瓦森纳协定》的存在 , 光刻机中其他关键技术以及零件 , 我们也买不到 。


其实在2018年时 , 中芯国际就向ASML订购了一台EUV光刻机 , 由于美国的阻挠 , 中芯国际到目前为止也没有收到这台光刻机 。 最早极紫外光源的研究是多个国家参与 , 包括了美国、日本、韩国以及欧洲多个国家 , 其中美国做出的贡献是最多的 , 美国也占有最多专利 , 这也就是我们买不到EUV光刻机的最根本的原因 。

中科院光电所是国内对光源研究最领先的研究所了 , 但是中科院光电所的技术还在365nm的水平 , 显然与ASML公司的差距有多么大 。 除了光源 , 镜头对于光刻机也非常的重要 , 全球范围内能生产出最好的镜头的公司就是德国蔡司 , ASML生产的EUV光刻机使用的镜头就是德国蔡司生产 。
【「光刻机」国产5nm光刻机诞生之时,就是ASML生产量子光刻机之日】

光刻机的研究并不是一蹴而就 , 按照我们目前的半导体水平 , 说是10年能够做出一台5nm光刻机一点也不为过 。 ASML之所以可以生产出先进光刻机 , 并不是什么东西都是自己生产 , 而是很多的国家以及企业都参与了进去 。 国内企业欠缺的技术实在太多 , 并且西方国家很多技术对我们进行了封锁 , 只能靠自己 。



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