突破！中微半导体5nm刻蚀机获台积电批量采购
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早在2018年底 ， 中微半导体就曾对外透露 ， 其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证 ， 性能优良 ， 将用于台积电的全球首条5nm制程生产线 。 值得一提的是 ， 中微半导体也是唯一进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本土设备商 。 据悉 ， 中微半导体与台积电在28nm制程时便已开始合作 ， 并一直延续到10nm和7nm制程 。
近日 ， 中微半导体发布会了在2019年的财报 ， 2019年的收益达到了19.47亿元 ， 同比增长为18.77% ， 而归母净利润为1.89亿 ， 同比增长为107.51% ， 年报中表示公司开发的高端刻蚀设备已在各大国际知名厂商的65nm到7nm的芯片生产线上 。
另外 ， 财报还显示 ， 中微半导体根据客户的需求已经开发出了5nm刻蚀设备 ， 并且获得了行业领先客户的批量订单 。 虽然财报并未公开该“领先客户”的具体名字 ， 不过应该可以确认是台积电 ， 因为现在只有他们量产了5nm工艺 。
而中微半导体5nm刻蚀机成功获得台积电的批量采购 ， 也反应了中国厂商在半导体设备领域的大突破 。
【突破！中微半导体5nm刻蚀机获台积电批量采购】编辑：芯智讯-林子
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