三星5nm EUV工艺关键突破:能效提升25%

眼下 , 台积电和三星都在全力冲刺5nm工艺 , 这将是7nm之后的又一个重要节点 , 全面应用EUV极紫外光刻技术 , 提升效果会非常明显 , 所以都受到了高度重视 。

现在 , 三星的5nm取得了重要进展 , 来自EDA(电子自动化设计)巨头Cadence、Synopsys的全流程设计工具已经通过了三星5LPE(Low Power Early)工艺的认证 , 可以帮助芯片厂更快速地开发高效的、可预测的芯片 。

本次验证使用的是ARM Cortex-A57、Cortex-A53芯片 , 结果完全符合三星新工艺的需求 , 但是三星未透露更具体的指标 , 如核心数、频率、功耗等 。

三星5LPE工艺仍然使用传统FinFET立体晶体管 , 但加入了新的标准单元架构 , 并同时使用DUV、EUV光刻技步进扫描系统 。

由于继承了旧工艺的部分指标 , 使用三星5LPE工艺设计芯片的时候 , 可以重复使用7LPP IP , 同时享受新工艺的提升 。

三星7LPP工艺将是其第一次导入EUV , 但只有少数光刻层使用 , 5LPE会扩大使用范围 , 效果更加明显 。

按照三星的说法 , 5LPE工艺相比于7LPP工艺可以带来25%的逻辑电路能效提升 , 同时可将功耗降低20% , 或者将性能提升10% 。

三星5nm EUV工艺关键突破:能效提升25%

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